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RK DZQ270-1A电子束蒸发源
  • 用途及特点
  • 规格参数
    开云体育全站app特点
     
    ●RK DZQ270-1A型电子枪为开放式电子枪，可以和任意穴位坩埚配用;
    ●采用270度内藏式灯丝，有效避免了熔料对灯丝的污染，提高了灯丝的寿命;
    ●配有专用水冷结构对永磁体进行冷却保护，确保束流长时间稳定工作;
    ●维护保养简捷方便，配有更换灯丝的专用工装。
    技术指标
     
    ●加速电压：-6KV～-10KV
    ●******电子束流：1A
    ●******功率：10KW
    ●电子束偏转角：270°
    ●电子束扫描范围：15mm×15mm(X/Y)
    ●冷却水速率：******速度8L／分(水温在15℃～25℃，压差不低于0.1MPa，******压力不高于0.3MPa)
    ●气密性：漏率不高于1.33×10-5Pa.L/S
    ●工作真空度范围：5×10-4Pa～5×10-2Pa
    ●外形尺寸：W148×H158×Dl84(mm)
    ●重量：约10Kg

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